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UVISEL光譜型相調(diào)制橢圓偏振儀(SPME)是一款獨(dú)一無二的儀器,它采用光彈性晶體來調(diào)制偏振光,而不是傳統(tǒng)橢偏技術(shù)中的機(jī)械偏光裝置。
與傳統(tǒng)橢偏儀相比,UVISEL光譜型橢偏儀能夠在全譜范圍內(nèi)測(cè)得非常準(zhǔn)確的橢偏角(Y, D),從而可以對(duì)透明襯底、超薄薄膜和折射率接近的樣品進(jìn)行高精度和高靈敏度的特性分析。