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共聚焦拉曼逐層分析半導(dǎo)體4H-SiC載流子濃度和厚度信息

2020-08-07
  • 電子/電器/半導(dǎo)體
  • 半導(dǎo)體4H-SiC
  • 載流子濃度和厚度信息
  • Depth Profiling of Ion-Implanted 4H–SiC Using Confocal Raman Spectroscopy
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摘要

1、利用共聚焦拉曼進(jìn)行分析時(shí),不同的激發(fā)光可以檢測(cè)不同濃度的載流子信息,比如325 nm激光輻照可以檢測(cè)低濃度載流子信息;

2、同樣是在325 nm激光輻照下,樣品內(nèi)產(chǎn)生的光生載流子濃度會(huì)隨著離子改性層中鋁離子注入劑量的增加而減弱;

3、這些都表明了共聚焦拉曼在載流子濃度表征方面的便利與優(yōu)勢(shì)。


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