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太赫茲(THz)光源波長(zhǎng)較大,一般在300微米左右。由于衍射極限的存在,THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無(wú)法滿足對(duì)材料科學(xué)研究,尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究(例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成:源極,漏極,柵極)的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。
neaSCOPE納米光譜與成像系統(tǒng)neaSCOPE是德國(guó)neaspec公司推出的全新一代散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(簡(jiǎn)稱s-SNOM),加載了全新技術(shù),拓展了產(chǎn)品功能,以滿足客戶多樣的實(shí)驗(yàn)需求?;诨纳⑸涫胶诵脑O(shè)計(jì)技術(shù),neaSCOPE大地...