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NanoFrazor—3D納米加工新技術(shù),IBM采用T-SPL技術(shù),實現(xiàn)3D納米結(jié)構(gòu)快速直寫,10nm精度(線寬和間距),實時形貌觀察, 輕松完成二維納米器件無標(biāo)記套刻與加工,無電子損傷,性價比高,易維護(hù)易操作。