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attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要,其緊湊的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定性可以在極端環(huán)境中使用,在極大的位移測(cè)量范圍內(nèi),達(dá)到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率,應(yīng)用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準(zhǔn)、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測(cè)等領(lǐng)域。