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自感應(yīng)懸臂探針安裝了一個(gè)全壓電電阻式的惠特斯通電橋,兩個(gè)可變電阻在懸臂上,兩個(gè)在晶片上可以直接測(cè)量懸臂的信號(hào),從而避免了光學(xué)技術(shù)對(duì)空間要求。這種懸臂式芯片被連接在一個(gè)小的PCB上,帶有一個(gè)小的連接器,用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號(hào)是通過(guò)一個(gè)小型的前置放大器PCB來(lái)讀出和放大的。這使得與各種儀器,如SEM,TEM和許多其他測(cè)量系統(tǒng)的簡(jiǎn)單無(wú)縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。