DIN 50451-3 E:2012-11
半導(dǎo)體工藝用材料測(cè)試 液體中痕量元素測(cè)定 第3部分：用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定硝酸中鋁(AL)、鈷(Co)、銅(Cu)、鈉(Na)、鎳(Ni)和鋅(Zn)的含量

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS

被代替

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標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

DIN 50451-3 E:2012-11

發(fā)布

2012年

總頁(yè)數(shù)

19頁(yè)

發(fā)布單位

德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

DIN 50451-3:2014

當(dāng)前最新

DIN 50451-3:2014-11

 

 

標(biāo)準(zhǔn)名稱:  半導(dǎo)體技術(shù)材料測(cè)試 - 液體中元素痕跡測(cè)定 - 第3部分:鋁 (Al), 砷 (As), 鋇 (Ba), 鍶 (Sr), 鈹 (Be), 銻 (Sb), 鉈 (Sn)等的硝酸溶液中ICP-MS 測(cè)試

適用范圍:  本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于半導(dǎo)體技術(shù)的材料測(cè)試方法，特別適用于檢測(cè)硝酸溶液中的鋁 (Al), 砷 (As), 鋇 (Ba), 鉈 (Sn)等重要元素。該標(biāo)準(zhǔn)旨在確保這些關(guān)鍵原材料的質(zhì)量控制。

該標(biāo)準(zhǔn)草案于2012年11月5日公布，征求公眾意見和建議?？紤]到與現(xiàn)有版本可能存在的差異，使用時(shí)需特別協(xié)商確定。它詳細(xì)描述了如何使用ICP-MS技術(shù)進(jìn)行材料檢測(cè)，并涵蓋了從樣本制備到結(jié)果計(jì)算的整個(gè)流程。

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