GB/T 39145-2020
硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
GBT39145-2020, GB39145-2020
標(biāo)準(zhǔn)核心內(nèi)容解析
GB/T39145-2020規(guī)定了使用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)測定硅片表面痕量金屬的標(biāo)準(zhǔn)化方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于108-1012 atoms/cm2含量范圍的12種關(guān)鍵金屬元素檢測。
關(guān)鍵技術(shù)對比
| 方法維度 | 直接酸滴分解法(DADD) | 氣相分解法(VPD) |
|---|---|---|
| 檢測限 | 109 atoms/cm2 | 108 atoms/cm2 |
| 適用場景 | 常規(guī)檢測 | 超痕量分析 |
| 自動化程度 | 可全自動操作 | 需專用處理盒 |
關(guān)鍵干擾因素控制
標(biāo)準(zhǔn)特別強調(diào)5類核心干擾源的控制：
- 人員操作：要求檢測員通過痕量分析專項培訓(xùn)
- 環(huán)境潔凈度：制樣區(qū)需達到ISO4級標(biāo)準(zhǔn)
- 試劑純度：超純水電阻率>18MΩ·cm
- 儀器狀態(tài)：定期按JJF1159校準(zhǔn)ICP-MS
- 記憶效應(yīng)：禁止檢測高污染樣品
實施建議
基于標(biāo)準(zhǔn)實施經(jīng)驗提出：
- 建立雙標(biāo)準(zhǔn)溶液驗證機制，定期核對校準(zhǔn)曲線
- 對Cr/Fe等易干擾元素采用碰撞反應(yīng)池技術(shù)
- VPD法建議搭配全自動制樣機使用
- 每批次測試需包含75%-125%回收率驗證
技術(shù)演進分析
相較早期方法，本標(biāo)準(zhǔn)主要突破：
- 明確DADD與VPD的適用場景區(qū)分
- 引入自動化制樣設(shè)備規(guī)范
- 新增Zn等新興污染元素的檢測要求
- 建立基于ISO潔凈度等級的環(huán)境控制體系
請注意，本內(nèi)容不等同于標(biāo)準(zhǔn)原文，內(nèi)容僅供參考，本站不保證內(nèi)容的正確性。準(zhǔn)確、完整的信息請參閱正式版文本。
點擊查看大圖
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 39145-2020
- 別名
- GBT39145-2020
GB39145-2020 - 發(fā)布
- 2020年
- 總頁數(shù)
- 8頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 39145-2020
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 14264 GB/T 17433 GB/T 19921 GB/T 25915.1 GB/T 37837 GB/T 6624 JJF 1159
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定硅片表面金屬元素含量的方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅單唱拋光片和硅外延片表面痕量金屬鈉、鎂、鋁.鉀、鈣.鉻.錳.鐵、鉆、錦、銅、鋅元素含量的測定,測定范圍為 10 cm 一10 cm“。本標(biāo)準(zhǔn)同時也適用于硅退火片、硅擴散片等無圖形 硅片表面痕量金屬元素含量的測定。 注: 硅片表面的金屬元素含量以每平方厘米的原子數(shù)計。
GB/T 39145-2020 中提到的儀器設(shè)備
其他標(biāo)準(zhǔn)
專題
GB/T 39145-2020相似標(biāo)準(zhǔn)
推薦
微波消解-電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測定黑木耳中的金屬元素
【前言】黑木耳是一種味道鮮美、可葷可素、營養(yǎng)豐富的食用菌類，其含有豐富的蛋白質(zhì)、維生素、粗纖維、鐵、鈣等礦物元素，且具有很多藥用功效，能益氣潤肺、止血、活血，并可防治缺鐵性貧血，也對疏通腸胃和美容有一定的幫助。隨著黑木耳消費量的不斷增加，其富集金屬元素的問題也引起了廣泛的關(guān)注?！緲?biāo)準(zhǔn)】根據(jù)我國...
電感耦合等離子體質(zhì)譜法同時測定腎寧散膠囊中硼、鎂、錳、鉀的含量
01第一部分:引言腎寧散膠囊為開封大宋制藥有限公司獨家生產(chǎn)藥品，1985年獲得發(fā)明專利，目前已被列入河南省尉氏縣非物質(zhì)文化遺產(chǎn)保護目錄。腎寧散膠囊由西瓜翠衣、紫皮大蒜等藥物組成，具有消炎、利尿、消除浮腫及尿蛋白的功效，用于治療急慢性腎盂腎炎、腎小球腎炎。服用時用白茅根50g煎水400mL早(空腹...
快速測定方便面中重金屬的含量|微波消解-電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）
【前言】隨著現(xiàn)代工農(nóng)業(yè)的發(fā)展，重金屬污染正在扮演農(nóng)產(chǎn)品質(zhì)量安全的“隱形殺手”，“砷毒”“鎘大米”等重金屬污染事件成為食品安全問題的標(biāo)志性事件。重金屬污染具有半衰期長，毒性強、易蓄積、人體難以代謝等危害，對生活環(huán)境和農(nóng)產(chǎn)品安全產(chǎn)生嚴(yán)重破壞，而且環(huán)境中殘留的重金屬經(jīng)過食物鏈進入人體后也會產(chǎn)生慢性損傷...
解決方案 | LabMS 3000 ICP-MS測定硅片表面雜質(zhì)元素含量
前言硅片是半導(dǎo)體制造業(yè)的基礎(chǔ)材料，硅片表面極其少量的金屬雜質(zhì)元素污染都可能導(dǎo)致器件的功能喪失或者可靠性變差，隨著半導(dǎo)體制程的不斷提高，對金屬離子污染物的控制也越來越嚴(yán)格。本實驗參考《GB∕T 39145-2020硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》，采用LabMS 3000s...